真空炉
除了使用真空泵外,真空炉中使用的阀门技术对工艺效率和质量具有决定性作用。除了精确的控制,决定性的标准是高可靠性、坚固的设计、高可用性以及与此相关的高数量的免维护生产周期。VAT在此设立了标准。
阅读更多带保护圈的 17.2 高真空闸阀旨在在气流中副产物比例较高的真空过程中提供可靠的隔离。为了防止阀体内部以及机械装置上产生沉积物,闸阀配有一个保护圈,当闸阀处于“打开”位置时,该保护圈会滑动到位。这会增加阀门的耐用性和使用寿命,即使在恶劣条件下也是如此。
17.2 高真空闸阀采用 VATLOCK 技术,该技术旨在提供可靠的密封,同时不会在阀板密封处产生任何摩擦。由于关闭端位置处的机械锁定,VATLOCK 机构还可以防止阀门故障。
17.2 高真空闸阀已经安装在数千个各种工艺条件下的要求苛刻的应用中,证明了其卓越的可靠性。其已成为 DN 63 - 320 mm (2.5”- 12”) 尺寸的污染过程中真空隔离的标准。凭借坚固、无润滑剂的设计,其满足了可靠高真空闸阀的所有要求。
17.2 高真空闸阀具有各种驱动和法兰连接设计选项,因此其可以轻易集成到任何真空系统中。有多种特殊选项可供选择,例如粗抽、排气或计量表用端口以及替代密封件材质,以确保最适合于不同的应用。另一个优点是,可以在各种位置指定执行器的安装位置,以便以最佳方式安装在有限的安装空间内。
带保护圈的 17.2 高真空闸阀既可提供带手轮或操纵杆的手动型,也有带电磁阀的气动双作用型,作为设备上解决方案或用于外部安装均可。电磁阀的标准电压为 24 VDC,但可根据要求提供其他电压。
法兰连接器的标准选项为 ISO-F、CF-F、ASA- LP 和 JIS。可集成客户指定法兰,有无水冷 皆可。
特点:
优势:
尺寸 | DN 63 (2½’’), DN 100 (4"), DN 160 (6"), DN 200 (8") | ||
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驱动器 | 气动 | 双作用 | |
手动 | 带手轮或操纵杆 | ||
阀体材料 | 不锈钢 | ||
进给机构 | 带有中间层泵口的旋转进给机构 | ||
标准法兰 | ISO-F, CF-F, ASA-LP, JIS | ||
泄漏率 | 阀体 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
阀座 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | ||
压力范围 | 1 × 10-8 mbar to 2 bar (abs) | ||
压差 | 阀板 | ≤ 2 bar | |
打开时 | ≤ 30 mbar | ||
首次维护前开关次数 | 10万次 | ||
温度 | 阀体 | ≤ 150 °C | |
气动驱动器 | ≤ 50 °C | ||
手动驱动器 | ≤ 80 °C | ||
电磁阀 | ≤ 50 °C | ||
位置指示器 | ≤ 80 °C | ||
加热和冷却速率 | ≤ 50 °C h-1 | ||
材料 | 阀体、法兰机构(主要部件) | AISI 304 (1.4301) | |
机构 | AISI 301 (1.4310), AISI 304 (1.4301) AISI 316L (1.4404), AISI 420 (1.4034) | ||
密封 | 阀帽、阀板 | 氟橡胶 (Viton®) | |
安装位置 | 任何位置 | ||
电磁阀 | 24 VDC,2.5 W(可根据要求提供其他值) | ||
位置指示器:触点额定值 | 电压 | ≤ 250 VAC | ≤ 50 VDC |
电流 | ≤ 5 A | ≤ 3 A | |
阀门位置指示 | 视觉(机械) |