任何条件下都值得信赖

02.4 大型传输阀与MONOVAT旨在满足高真空条件下有机材料蒸汽沉积系统的特殊要求。02.4 系列专为高循环生产系统设计，结合了出色的操作速度和对流程相关沉积物（会限制标准阀性能）的抗性。按照设计，在进行首次建议维护检查前，02.4 系列可不间断地执行 100 万次开关。

较长的正常运行时间和可靠的性能是 02.4 系列的品质证明，维护要求已达到最低水平。02.4 系列使用的 MONOVAT 特殊密封技术使阀板的开启和关闭动作无冲击，最大程度地减少粒子产生和密封磨损。此外，该阀门的密封机构采用紧凑设计，因此整个阀体十分小巧，可实现较小的安装尺寸。


02.4 系列已在全球各种工艺条件下的数百个显示器和光伏生产系统中运行，从各个方面证明了其卓越的性能。

与所有 VAT 传输阀解决方案一样，02.4 大型传输阀与MONOVAT专为特定客户规格定制。这些定制元件包括脉冲驱动用电磁阀、特殊表面处理（如硬质阳极氧化铝或镀镍铝等）、其他密封材料、阀板接地等。

02.4 大型传输阀与MONOVAT的主要特点

特点：

    • 设计紧凑，安装尺寸小
    • 阀板运动无冲击
    • 对流程相关沉积物有抗性

优势：

    • 运行成本低
    • 循环周期短
    • 正常运行时间长，维护少
  • 技术数据
尺寸 标准：50 × 500 mm 至 150 × 1600 mm （1.97" × 19.69" 至 5.91" × 62.99"）
可根据要求提供特殊尺寸
驱动器气动双作用
阀体材料 铝
馈通件 

带有中间层泵口的轴馈通件

泄漏率阀体、阀座< 1 × 10-9 mbar ls-1
阀板可承受压差关闭/开启方向≤ 1 bar
打开时可承受压差 ≤ 5 mbar
首次维护前开关次数 100 万次
关闭或打开时间 ≤ 1.5 秒（开口高度为 100 mm 时）
温度阀体、阀板
驱动器、位置指示器		≤ 120°C
≤ 60°C
阀体/阀板温差小尺寸
大尺寸		≤ 40°C
≤ 25°C
材料阀体、阀板
驱动器轴
抗压差挡块		EN AW-5083 (3.3547)
AISI 304 (1.4301) 镀硬铬
AISI 304 (1.4301)
密封阀板、法兰、馈通件氟橡胶
安装位置 驱动器可向上、向下或侧面安装
位置指示器电压10–30 VDC PNP（可选 NPN）
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