太阳能薄膜沉积
太阳能电池板制造商使用各种涂层工艺(CVD、ALD、MBE、PVD等)来生产构成现代太阳能电池性能的超薄薄膜。所有工艺的共同点是在受控的大气条件下进行,例如在氩气环境和真空条件下。对真空和气体分布的精确控制对镀膜过程的效率至关重要。VAT阀门技术在这一领域设立了标准。
阅读更多06.8 大型传输阀(阀门型/嵌入型/闸门型)在循环周期方面为大型镀膜系统(例如显示器或光伏板生产)设定了新标准。凭借经过优化的单运动设计,FLAPVAT 阀板可以以经简化的旋转运动进行旋转。这能够实现非常快的开关循环周期(1.2 – 2 s,具体取决于阀板尺寸),从而使其成为同类中速度最快的大型传输阀。
FLAPVAT 系统还提供集成的故障保护功能。在发生断电或加压干燥空气损失的情况下,阀门保持机械锁定在其关闭位置。
为了在长时间、不间断的生产周期内保持自身的速度性 能和可靠密封功能,06.8 系列具有一些额外的关键特性。其中一个特性是自适应防泄漏。特殊的“软阀板设计”可补偿热舱室变形及其任何泄漏风险。
此外,安装在阀板上的特殊隔热罩可防止热量传递到阀体或调节处理室中。隔热罩还可以省去对额外水冷的需要。
06.8 可配置为在两侧全压差下运行。
该系列设计用于清洁、未加热条件下的长时间不间断的生产周期 – 最高可达一百万个周期。可以在顶部或底部方向进行安装。
维护或维修停机时间不仅仅令人烦恼,还会增加成本,并 且降低产量。06.8 通过设计最大限度地延长了运行时 间。其具有两个关键特性:在不同工艺条件下提供可靠性能的稳健设计,以及仅满足基本维护要求的长维护周期。两者均会增加有效的运行时间。
如果需要维护,其可以很容易地与生产系统的维护计划保持一致。如果需要,可以非常快速地对所有活动部件进行维护更换,这意味着不会导致系统维护停机。
06.8 可提供阀门型、嵌入型或大气闸门 型。06.8 系列具有多种设计选项,可根据各种需求进行定制。脉冲驱动用电磁阀、阀板打开位置用气动锁定、水冷和各种材料选项只是定制选项的一部分。
特点:
优势:
开口尺寸 | 可达到 100×3000mm (3.94"×118.11") | ||
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驱动器 | 气动 | 双作用,带位置指示器 | |
阀体材料 | 铝或不锈钢 | ||
进给机构 | 旋转进给机构 | ||
泄漏率 | 阀体 | < 1 × 10-7 mbar ls-1 | |
阀座/阀板 | < 1 × 10-5 mbar ls-1 | ||
阀板可承受压差 | 关闭方向 | ≤ 1 bar | |
打开方向 | ≤ 10 mbar (可选 1 bar) | ||
打开时可承受压差 | ≤ 5 mbar | ||
首次维护前开关次数 | 1 百万次(未加热且在清洁的条件下) | ||
关闭或打开时间 | ≤ 1.2 s (开口高度为50 mm时) ≤ 2.0 s (开口高度为100 mm时) | ||
温度 | 铝阀体/阀板 | ≤ 120 °C | |
不锈钢阀板(可选) | ≤ 200 °C | ||
驱动器 | ≤ 80 °C | ||
法兰间尺寸 | 开口高度为 50 mm 时,为 145 mm 开口高度为 51mm–80mm 时,为 170mm 开口高度为 81mm–100mm 时,为 190mm | ||
材料 | 铝阀体/阀板/法兰 | EN AW-5083 (3.3547) | |
不锈钢阀板(可选) | AISI 304 (1.4301) | ||
密封 | 阀板、法兰 | 氟橡胶 (Viton®) | |
安装位置 | 阀门型 驱动器 | 水平/垂直 侧向,可选:向上/向下 | |
位置指示器 | 电压 | 10– 30 VDC PNP (可选 NPN) |